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适用专业：机械制造
适用年级：大学
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资料简介：
华侨大学研究生论文 气相沉积技术及其在机械工程中的应用,共14页，9261字
摘 要:本文阐述了气相沉积技术的内涵和基本方法，重点概述了各国在气相沉积技术方面所作的一些研究，并在此基础上介绍了气相沉积技术在机械工程领域中的一些应用，最后指出了气相沉积技术在今后的发展动向和趋势。
关键词：气相沉积；覆层；溅射
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- 华侨大学研究生论文-气相沉积技术及其在机械工程中的应用
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