[毕业设计] 如何根据Zernike多项式拟合法对光学平面进行检测 [复制链接]

资料简介：
　　淮阴师范学院毕业设计 如何根据Zernike多项式拟合法对光学平面进行检测，共23页，6822字。
　　
摘 要：对于光学平面的检测，普遍用的干涉测量法需要一块高精度的参考平面作为标准，其测量精度受到参考平面精度限制。为了获得被测平面的绝对面形分布，同时根据对实际光学平面误差检测结果的分析，本论文提出了如何根据Zernike多项式拟合法对光学平面进行检测。得到了运用Zernike多项式拟合法对光学平面进行绝对检验的理论模型。该方法使得测量整个波面可程序化，便于计算机辅助处理。最后对研究结果进行了数值模拟，进而证明了Zernike多项式拟合法的实用性。
　　
关键词：光学测量，三面互检，Zernike多项式，数值模拟
　　

　　
目录
　　
1 课题研究背景    3
　　
2 三面互检法基本原理    5
　　
3 Zernike多项式拟合法的原理[3]    8
　　
4 理论模拟    14
　　
结束语    19
　　
参考文献    20
　　
致谢    21
　　
附录A  Zernike多项式的前36项直角坐标系表达式    22
　　
附录B  Zernike多项式的前36项极坐标系表达式    23

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