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资料简介：
论文 微机械检测技术的研究，正文共18页，9238字。
摘要
针对微机械隧道陀螺仪输出信号的特点，设计出陀螺仪隧道电流的检测及校准电路，同时从理论上对电路进行误差分析，并对电路的实际安装技术进行了讨论，最后通过实际电路验证了该设计的可行性。
关键词：陀螺仪；隧道电流；微弱信号检测

目录
摘要    I
Abstract…Ⅱ
目录…… Ⅲ
前言……….1
第一章   放大方案 4
第二章  微电流测量技术…  5
2.1 I/V放大电路的基本工作原理… 5
2.2测试电路基本形式….. 6
2.3    安装技术.. 7
2.4    校准…….. 8
2.5   设计…….. 9
2.6硅材料特点.. 9
2.7加工技术简介……….. 9
展望…….11
主要参考文献和书目……… 13
致  谢… 14

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• 论文-微机械检测技术的研究
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