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qwqwqw - 2019/5/4 12:49:28
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论文编号:215394

资料简介:
SiO2与TiO2光学薄膜的制备及其椭偏测量,毕业论文,共60页,19238字,附开题报告、答辩文稿、外文翻译等。
摘  要
随着薄膜技术在信息存储、电子元器件、航天技术以及光学仪器等方面的越来越广泛的应用,薄膜光学参数(折射率n、吸光系数k和薄膜厚度d)的准确测量逐渐成为薄膜研究的重要方向。
在本文中,选择性能比较优异的SiO2、TiO2光学薄膜为研究对象,它们具有非常高的化学稳定性和机械强度性能,通过溶胶-凝胶法,用硅酸乙酯、钛酸丁酯分别配制成SiO2、TiO2薄膜。然后用SC630全自动椭圆偏振光谱仪测量这两种光学薄膜的参数性能。通过分析得出控制测量角度,使得测量所得的薄膜的折射率和吸光系数更加精确;调节提拉速度和溶液的溶度来控制薄膜的厚度。用上述方法制备薄膜,简单容易,所需要的设备少,同时耗资也少。用椭圆偏振法测量薄膜的参数性能,操作简单,快捷方便。
关键词:光学薄膜;薄膜制备;椭圆偏振仪;椭偏测量

目  录
摘  要    I
Abstract    II
1 绪  论    1
1.1 光学薄膜的概述    1
1.2 光学薄膜的发展现状    2
1.2.1 光学薄膜在国外的发展现状    2
1.2.2 光学薄膜在国内的发展现状    2
1.3 光学薄膜的特点及性能    2
1.3.1 光学薄膜的特点    2
1.3.2 光学薄膜的性能    2
1.4 光学薄膜的椭偏测量    3
1.4.1 椭圆偏振原理    3
1.4.2 椭圆偏振仪概述    4
1.4.3椭圆偏振仪系统结构及其优点和特点    5
1.4.4 椭圆偏振的发展现状    6
1.4.5 椭圆偏振仪的应用    7
1.5 研究的主要内容    8
2 实验设计    10
2.1 实验药品和仪器    10
2.2 SiO2与TiO2光学薄膜的制备    10
2.2.1 SiO2光学薄膜的制备    10
2.2.1 TiO2光学薄膜的制备    11
2.3 SiO2与TiO2光学薄膜的椭偏测量    12
2.3.1 SC630全自动椭圆偏振光谱仪的操作    12
2.3.2 SiO2与TiO2光学薄膜的参数测量    14
3 结果与讨论    15
3.1 SiO2光学薄膜的测量数据的处理    15
3.1.1 实验数据处理    15
3.1.2 实验数据分析    15
3.2 TiO2光学薄膜的测量数据的处理    21
3.2.1 实验数据处理    21
3.2.2 实验数据分析    21
结  论    29
参考文献    30
致  谢    32
附  录    33

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毕业论文-SiO2与TiO2光学薄膜的制备及其椭偏测量


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